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    凯美特气将实现激光混配气“中国造”

  • 来源:气体圈子 时间:2020-7-30 12:49

气体圈子讯:凯美特气7月29日晚间公告,公司控股子公司凯美特电子特种气体公司已取得《危险化学品经营许可证》和《安全生产许可证》。目前,凯美特电子特种气体公司的电子特种稀有气体项目已可产出氯化氢基准分子激光混配气、氟基准分子激光混配气、动态激光混配气、99.99996%二氧化碳等稀有气体。其中氟基激光混配气14000 Nm3/年、氯化氢基激光混配气3600 Nm3/年、动态混配气8600 Nm3/年生产。


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据气体圈子俱乐部了解,光刻是芯片制造最关键的工艺之一,由激光混配气产生的光源则是光刻机核心。利用电子束激发惰性气体和卤素气体结合形成的气体分子, 向基态跃迁时所产生激光,特色是方向性强、波长纯度高、输出功率大, 例如 KrF (248 nm)、 ArF(193 nm)和 F2(157 nm)等。使用 193nmArF 光源的干法光刻机,其光刻工艺节点可达 45nm,采用浸没式与光学邻近效应矫正等技术后,其极限光刻工艺节点可达 28nm。激光混配气是非常复杂且高精度的产品,一般一种激光混配气中含有4-5种不同比例的组分气体。


2020年7月24日-26日,凯美特气派相关人员参加由气体圈子俱乐部主办的电子特种气体培训班,系统性学习电子特气应用、安全、品质和Fab厂供应商管理等课程,准分子激光气内容由曾在中芯国际研发部任职多年的资深人士授课,课程内容深入浅出,讲解形象生动。


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凯美特气曾在2020年5月8日开业绩说明会上表示,芯片配套相关的气体必须通过国外特别是光刻机原厂认证和美国标物所的相关认证,再进入客户的认证。另一方面,这个项目的相关产品不存在研发的问题,凯美特气和美国顶尖的电子特气团队合资的相关技术,也是目前全球最高标准,主要是针对芯片制造商的气体供应。凯美特气电子特气技术团队先后攻克容器清洗、气体提纯、气体混配等关键课题,样品资料已经送往国际大厂,并且已经在认证过程当中。


电子特种稀有气体项目的正式投产有利于进一步扩充凯美特气体公司产品种类,树立公司在特种稀有气体行业的高品质形象。凯美特气表示,其未来会继续推动公司加大研发投入,开发生产多种芯片半导体、航空航天、生物医药等高科技领域特需的电子特种气体、稀有惰性气体,逐步扭转国内目前电子特种气体完全依赖进口的局面,形成行业内具有较大影响力的专业电子特种气体和混配气体研发及生产加工基地。


公告显示,该项目总投资3.1亿元,通过引进国外技术新建 25 套电子特种气体项目生产装置,采用低温吸附、深冷精馏分离、电解、催化合成技术,即将拥有生产高纯度电子气体的工艺。电子特气项目先期启动一期项目建设(计划总投资1.97亿元),建设规模为新建 12 套电子特种气体生产及辅助装置。


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