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    “年产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子级三氯氢硅项目”工艺试车成功 ...

  • 来源: 时间:2021-1-22 09:46

气体圈子讯:三孚股份1月19日发布公告称,产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子级三氯氢硅项目于2020年11月13日正式投料试车,目前所有工艺流程均已正常顺利打通;2020年12月中旬,产品电子级二氯二氢硅以及电子级三氯氢硅已经产出;2021年1月18日,产品已经顺利试充装,代表项目工艺试车成功。


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三孚股份2018年第一次临时股东大会审议通过了《关于通过全资子公司唐山三孚电子材料有限公司投资建设年产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子级三氯氢硅项目的议案》,同意公司通过全资子公司唐山三孚电子材料有限公司投资建设“年产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子级三氯氢硅项目”,项目预计投资总额 28724万元。


据悉,二氯二氢硅主要是半导体制造中作为硅源,常用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高,沉积硅更有效,且淀积所需的温度比其他氯硅烷低,在降低温度下沉积厚层所需时间大大低于采用硅烷所需时间。由于沉积速率与采用其他氯硅烷相比对温度敏感性小,因此可以采用调节氢气流中二氯二氢硅浓度的方法来控制沉积速率,而且不会出现鼓泡所带来的不准确性和机械问题。目前,二氯二氢硅和三氯氢硅主要供应商包括日本信越、大阳日酸、默克和液化空气,国内如国顺硅源和三孚电子等。2019年全年半导体所用含硅气体及含硅前驱体市场规模约为9.6亿美元,国内含硅电子气体(含硅前驱体)基本都需要依赖国外进口,进口替代空间广阔。


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