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    电子特种气体供需问题亟待通过回收再利用技术解决

  • 来源:气体圈子 时间:2021-11-25 15:27

面对半导体制造过程中特种气体使用量持续增大带来的温室气体排放问题和地缘政治问题引起的特殊气体供求问题,韩国专家专家提出了发展特种气体再利用技术的解决方案。


近年来,随着半导体及显示器产业的高速发展,特种气体的使用量和排放量急剧增加,因此抑制该领域温室气体排放已经成为当务之急。在日前举办的半导体材料·特种气体研讨会上,韩国代表就“半导体气体Recycling技术和局限性”进行了专题研讨。他认为,由于各国之间的贸易争端,氦、氖、氪、氙等稀有气体的回收和再利用刻不容缓。目前半导体和显示器工艺使用的特殊气体处理方法主要有洗涤器(Scrubber)焚烧、气体替代、改进工艺等三类方案。然而,大多数都是洗涤器处理而不是回收再利用。


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显示器行业在从LCD到OLED的技术转换过程中SF6很难用NF3代替,温室气体排放量继续增加、因此对工程排放气体处理仍有很多苦恼。大部分PFC(全氟化合物)材料都含有氟,对于这类特种气体的回收,需要进行分离和精制技术。目前,反应后的剩余材料很难回收再利用,所以主要是进行废弃处理,但缺点是费钱(增加公司运营成本)。用于清洗和蚀刻的气体如SF6和CF4是稳定的化合物,难以在洗涤器中去除,因不完全燃烧而释放到大气中的情况时有发生。全球气体公司和半导体公司试图回收高纯度含氟气体,但大多以失败告终。


韩国代表表示,是时候该考虑排放的特种气体回收再利用技术了。他说,“对于回收,我们需要通过结合各种分离技术的能源优化工艺设计来解决问题。这些工艺改进,虽然很难适用于所有情况,但特定工艺中的某些气体将是可重复使用的。”他还介绍了一种利用液氮冷却热分离纯化PFCs的新工艺,并解释说NF3和CF4通过固化分离很容易分离,回收的气体可以再利用。他认为,由于低温过程较弱,最终分离是可能的,因为在韩国实施这项技术已有先例。如果开发回收技术,在排放方面,分离并回收再利用,半导体和显示行业的竞争力将会通过降低成本加以增强。


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鲍坚仁博士:德国实验物理学博士(2000年),研究高纯气体材料回收再利用技术十余载。曾就职美国硅谷的一家半导体芯片公司研发工程师。武汉华灿光电联合创始人、湖南高安新材料公司创始人,拥有 20 余项中美专利。鲍博士将担任12月9日-11日在江苏无锡举办的中国电子特种气体英才计划第七期培训班讲师,主讲内容《高纯材料的纯化和检测》。“电子特种气体英才计划”由气体圈子联合半导体制造工厂资深专家、电子特种气体国际大厂专业人士共同发起,旨在服务“战略性先进电子材料"之电子特种气体产业链可持续发展。


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第七期研修班课程内容

课程1  电子特气客诉处理与应对技巧(8D)

讲师C:知名FAB厂供应商质量管理负责人,从业经验近15年;


课程2  电子特气商务管理

讲师H:从事电子特气市场开发和管理工作近25年;


课程3  半导体工厂全面气体管理(TGM)

讲师G:知名FAB厂TGM负责人,从业经验近20年;


课程4  高纯材料的纯化和检测

讲师:鲍坚仁博士


1、培训时间:2021年12月9日-11日;

2、培训地点:江苏 无锡

3、识别以下二维码进行报名(或点击文末“阅读全文”进行报名)

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4、联系人:林老师18912367118

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