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    Versum Materials开设新的研究机构

  • 来源:gasworld 时间:2018-5-3 16:56


        Versum Materials是一家位于美国亚利桑那州的半导体材料供应商,宣布其位于宾夕法尼亚州的半导体材料工厂新开设发研发机构。


        研发实验室致力于半导体制造中使用的新材料的研发,该工厂的科学家将使用业界最新的合成技术,使其达到十亿分之几以下的杂质水平。研究人员可以评估这些新分子的应用,并将分子量扩大到更大的数量,以供客户评估。这些新型有机金属化合物将通过尖端技术沉积在半导体晶圆上,以测试半导体应用的性能。此外,该设施还能进行小批量生产和先进的分析和质量评估。


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        此中心约有30名员工,其中一半持有化学或化学工程高级学位,都在新设施中。材料高级副总裁Ed Shober说:“无论是支持计算能力,移动性,连接性,人工智能,虚拟/增强现实,物联网,大数据和机器学习,我们都可以让全球最大的科技公司扩展科技界限,Versum Materials是所有这些技术的核心。 Versum Materials团队提供了有价值的产品和解决方案,使这一前沿创新更加安全,快速,简单和可靠,比以往任何时候都更可靠。“


        最近的扩张是多年投资的一部分。去年该公司宣布增加产能并修改设备配置以减少制造瓶颈。 Versum的制造工厂为世界各地的半导体制造商生产各种高纯度特种气体和化学品,包括六氟化钨,WF6和三氟化氮NF3。 WF6被用作在半导体器件中多层之间形成钨互连的金属化源。这是生产逻辑和存储器(DRAM和NAND)器件的重要材料。 NF3主要用于化学气相沉积反应器的腔室清洁。


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